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MEMS可燃气体和VOC气体传感器

    纳格公司将厚膜印刷技术和MEMS技术相结合成功开发出悬臂梁式微热板,该微热板能够承受1000℃的高温,具有很强的稳健性。基于此微热板开发出的可燃气体传感器,响应时间在5s以内,可燃气体传感器功耗小于250mW,VOC气体传感器功耗小于200mW,并且采用补偿元件,传感器输出参数不受环境温湿度变化的影响。

 

            MEMS可燃气体传感器                      MEMS VOC气体传感器




                           MEMS可燃气体传感器对不同体积浓度甲烷的响应曲线
 
 
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